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半导体材料
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解决方案
半导体材料

方案概述

材料电磁参数测试系统测试频率范围覆盖100MHz~500GHz,可实现材料复介电常数、复磁导率等参数测试。系统由矢量网络分析仪、测试夹具、系统软件等组成,根据用户不同频率、材料类型的测试需求,可选用同轴空气线、波导腔、探头以及自由空间测试装置等多种不同夹具进行测试


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主要特点

  • 系统配置灵活,测试方法齐全

  • 自动测量软件简单易用,方便快捷

  • 一次连接同时测量多个参数

  • 兼容多种测试夹具

同轴空气线测试方法

       适用于0.1GHz~18GHz频段范围内使用,将被测样品加工成环状放置在夹具内部,随后利用同轴校准件完成全二端口校准,最后在同轴夹具中放置被测样品,利用加载样品后的S参数、夹具及样品厚度等参数进行计算,即可得到样品在宽频带下的电磁参数,该方法特点是测试速度快、宽频带,一个样品即可实现0.1GHz~18GHz全频段测试,同时针对粉末样品,系统配备制样模具,为用户制备样品提供方便。

导传输线测试方法

       适用于0.75GHz~110GHz频段范围内使用,将被测样品加工成矩形块状放置在夹具内部,随后利用相应频段的波导校准件完成全二端口校准,在校准方法的选择上,可分别进行SOLT和TRL两种校准方式,被测样品要求为相应频段的标准波导口径尺寸,最后在波导夹具中放置被测样品,利用加载样品后的S参数、夹具及样品厚度等参数进行计算,即可得到样品在相应频段下的电磁参数,该方法特点是样品容易制备,测试精度高。

探头法测试方法

       适用于0.1GHz~50GHz频段范围内使用开口同轴探头对均匀、各向同性的流体、半流体材料的相对介电常数及损耗角正切的检测,校准方式为单端口校准,该方法特点是可对高损耗型样品在宽频带内进行测试。

自由空间法测试方法

       适用于2GHz~500GHz频段范围内使用,测试样品要求为平板状,通常该方法在40GHz以下选用透镜天线,40GHz以上选用高增益喇叭天线即可。该方法采用自由空间校准,特点是校准方便,可在毫米波及THz频段对样品进行测试。

系统软件

       该软件具备同轴波导传输线法、自由空间法、探头法等测试方法,具备丰富的仪器资源库,兼容国内外主流测试仪器,设置界面简易友好,可对测试数据进行后处理及报表生成。

    测试方法选择功能

       根据选用的测试方法的不同,会进行相应方法的测试参数设置及校准提示。

    电磁参数计算功能

       根据样品校准后的S参数计算被测材料的介电常数、磁导率、及电、磁损耗角正切等电磁参数,同时具备非磁性材料测试功能,具备电磁参数反演反射率功能。

    电磁参数显示功能

       二维坐标系显示复介电常数及损耗角正切等参数。通过软件参数列表选择不同,数据及图形显示区域会进行相应选择项的数据及图形显示。

    测量结果分析功能

       可选择并加载多个已测量的数据文件,同时显示多条测量曲线进行比对。对于不同波段的测量数据,可同时绘制测量曲线,实现材料电磁参数在宽频带内的变化情况。

典型应用

       材料电磁参数测试系统测试方法齐全,频率范围覆盖广,可广泛应用于航空航天、卫星通信、导航、电路、安防安检及农业生产过程中土壤、水质的检测。

技术规范

                       方法种类

功能要求

同轴空气线

波导传输线

自由空间法

同轴探头法

频率范围

0.1GHz~18GHz

0.75GHz~110GHz

2GHz~500GHz

0.1GHz~50GHz

测试参数

介电常数、磁导率、电磁损耗角正切

介电常数、磁导率、电磁损耗角正切、

材料透波率

介电常数、损耗角

正切

工作方式

扫频

相对介电常数测量精度

±5%(典型值)

±10%(典型值)

被测材料类型

固体

流体、半流体

材料形状

环状

矩形

平板

/


订货信息

主机:

矢量网络分析仪系列

扩频模块系列    40GHz~500GHz

标配:

序号

名称

说明

1

稳相电缆

连接矢量网络分析仪和测试夹具

2

  3.5mm力矩扳手

固定连接器、电缆连接接头

3

测量软件

控制测试设备,计算、显示测试结果

4

用户手册

仪器快速使用入门

选件:

序号

名称

功能

1

空气线

同轴测试夹具

2

N型校准件/7mm校准件

空气线法测试系统校准

3

波导校准件各波段,典型应用:X波段,Ku波段,Ka波段)

波导测试夹具及测试校准

4

探头

探头法测试夹具

5

自由空间测试装置

自由空间法测试夹具

6

转接器

连接夹具及电缆



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